光刻机工作原理及研制意义

在2021年的芯片短缺后,各国开始重视芯片生产质与量。而光刻机作为芯片生产的必要工具,自然而然地成为各国关注的焦点和中心。

在这样的背景下,谁能够拿下光刻机技术,就可以抢占芯片制造的高点。

光刻机的工作原理,与胶片冲洗的原理有着一定的相似性。胶片冲洗是将胶片上的信息冲洗到特殊的照片纸上,而后经过化学溶液的特殊处理,让照片得以保留。

而光刻机则是通过掩膜版和光刻机之间的完美配合,可以将位于芯片上的电路,一个个的复制到光刻胶刻膜上,利用光电最终将整个电路誊在晶圆上。晶圆此前已经经过特别的处理,具有光敏感性,EUV所释放的紫外光可以轻松的识别,在晶圆上刻出电路。

这个看似简单的操作方式,却凝聚了光学顶尖技术,这也是很多国家,包括我国,尽管已经是芯片生产大国的,但是仍然没有拥有自主研发设计的光刻机。

光刻机工作原理及研制意义,光刻机工作原理及研制意义,第1张

根据光刻机的工作原理我们可以发现,激光器是整个光刻机技术的核心。控制着整个光源能力的高低,对于制程工艺也有着决定性的影响。

随着半导体工业整体水平提升,光刻机的激光也在不断的缩短,现在已经进入了仅有193nm的紫外光地步。我们的光刻机也从DUV时代,正式进入了EUV时代。

在这样的情形下,光源成为了光刻机的制造的关键之一,波长短对光刻机的工艺起到了决定性的作用。在我们通常的印象里,掌握的核心技术,即可开发出某一产品。但是在光刻机这方面,似乎这个常理并不成立。

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